Лекция 10. Химическое осаждение из пара

  1. 00:19Основы метода CVD
  2. 19:02Кинетика формирования продукта – стадии процесса
  3. 26:19Используемые реакции и прекурсоры
  4. 37:06Вещества, получаемые методом CVD
  5. 47:01Усиленный плазмой CVD. CVD с горячей нитью. CVD с лазером
  6. 54:05Металлорганический CVD
  7. 59:32Атомно-слоевое осаждение (ALD)
  8. 01:10:04CVD с участием аэрозоля. Метод пиролиза аэрозоля «Pyrosol»
  9. 01:20:35Преимущества и недостатки метода CVD